UIS 광학계로 선명하고 정확한 측정이 가능한 공구현미경으로써 0.1μm까지 측정이 가능하다.
목적에 대응하는 조명방법 관찰방법 배율의 선택이 가능하고 다양한 측정 방법에도 사용이 가능하며 고르지 않은 상태를 최소화 하는 포커스 센서로 높이 깊이를 효율적으로 측정할 수 있고 Interface unit을 사용하여 PC에서 측정 및 데이터 보존 관리가 가능하다. 이 현미경의 사용목적은 임베디드 기판의 형상 및 크기 분석이고 대략적인 Spec은 다음과 같다.
□ Measuring accuracy
- X-axis: (3+5L/250) μm 50mm stroke: (3+L/50) μm
- Y-axis: (3+5L/150) μm 100mm stroke: (3+2L/100) μm
[L: measuring length (mm)]

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