ABOUT SEMS
전자 빔을 시료에 주사하여 표면에서 발생하는 2차 전자 및 후방산란전자를 수집하여 영상신호로 변환, 스캐닝 해주는 주사전자현미경으로 표면 및 미세조직, 파단면 등을 최대 30,000배의 고 배율까지 관찰
o 구성 : 전자광학시스템, 디스플레이, 스테이지시스템, 진공시스템, 제어시스템
o 성능 - 분해능 : 가속전압 30Kv에서 15nm이내 - 배율 : 30x~30,000x - 가속전압 : 10kv~30kv(10kv/15kv/20kv/kv- 4step)
| 기본 사양 | |
|---|---|
| 모델명 | SNE-3000M |
| 내용연수 | 0년 |
| 이용 정보 | |
| 취득일 | 2013-12-26 |
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