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IR 반사코팅 유리의 코팅 두께를 측정하기 위한 정밀 두께측정기임. Masimum Scan Length 는 200mm 이고 Vertical Linearity는 2000Å 이상에서 0.5 % 이하에서 10Å임 Repeatability는 1um보다 작을 경우 4.0 Å (1시그마) for steps 1um보다 클 경우 0.1% (1시그마) for steps 임. Reproducibility는 15.0 Å 혹은 0.25% (1시그마)이고 Scan Speed는 2um/sec ~ 25mm/sec 임.
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