ABOUT SEMS
ECR ion source를 이용하여 다양한 이온의 높은 전하 빔 생성 및 가속하는 장치.
다양한 기체를 이용해 소스를 출력할 수 있으며, -150KeV까지 가속하고, Bending magnet을 통해 원하는 전하의 이온만 추출하여 용도에 맞게 사용한다.
Turbomolecular pump
Accelerator tube(가속 튜브)
Gate valve
Transformer(절연변압기)
High voltage flatform
Chiller(냉각기)
13.5Ghz ECR ion source
| 기본 사양 | |
|---|---|
| 제작국가 | 일본 |
| 내용연수 | 0년 |
| 이용 정보 | |
| 취득일 | 2019-12-13 |
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장비 관리자 1