본 장비는 전자 빔을 이용하여 미세물질을 확대, 시료의 표면을 관찰할 수 있는 분석장비임.
이 장비는 시료의 위치를 확인하기 위하여 스테이지(X,Y,R,Z,T) 이송 축을 사용함. 스테이지 도어의 축을 조정하여 측정위치를 찾은 후 전용 프로그램을 사용하여 확대, 초점 및 밝기조정, 스캔속도 조정, 치수측정, 이미지 저장 등이 가능하여야 함.
고 진공 펌프(Turbo Molecular Pump) 기본 장착으로 초기 고진공 도달시간이 3분이내 완료되며, 진공해제는 60초 소요됨.
SE(2차전자)와 BSE(후방산란전자) 디텍터가 기본으로 장착되어 있으며, 고진공과 저진공 시스템이 시료의 특성별 분석결과 및 방법을 다양화 할 수 있음.
장비외부에 장착된 카메라를 통해 시료삽입 후 표면에 대한 영상을 촬영, 소프트웨어에 디스플레이 되면서 샘플위치로 바로 이동할 수 있는 편의기능이 탑재되어 있음.

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