전계방사 주사전자현미경(FE-SEM)은 나노미터에 이르는 초고분해능을 가지는 최고의 성능을 가지는 주사전자현미경으로 첨단의 나노분야 연구에 가장 적합한 분석기기. 여기에 에너지 분산형 스펙트로메터(EDS)와 결합할 경우 미세구조 관찰과 동시에 조성분석이 가능함.
고 에너지의 전자빔이 시편의 표면을 주사할 때 전자와 시편의 상호작용에 의해 시편 표면으로 방출되는 전자들(backscattered electrons secondary electrons Auger electrons 등)과 X-ray를 모아 증폭시켜서 시료의 표면형태의 관찰 및 성분분석을 하는데 이를 측정하는 기기
FE-SEM/EDS만 있을 경우 한번에 sampl의 정보를 얻을 수 있지만 농도가 3%까지만 가능하고 FE-SEM/WDS만 있을 경우는 각 원소마다 맞는 crysta을 선택해 분석하면 시간이 오래 걸리는 반면 정확도가 높아 낮은 ppm단위까지 분석이 가능하고 또한 중첩되는 peak까지 구분이 가능.

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