ABOUT SEMS
연구장비
세종 지역
사용가능
전자빔증착기
DaON1000E (VTS)
장비 설명
‧ 필라멘트에서 방출되는 전자로 시료를 녹여 반도체 기판위에 물질을 증착하는 장비로서 고 진공상에서 작동함. 따라서 보통 로타리 펌프와 터보펌프도 동반시켜 작동시킴.
‧ 실리콘 등의 기판에 박막을 코팅하는 장치로 전극 증착공정에서 powder grain wire 등 여러 형태의 비금속 및 금속 sourc를 이용, 사용하여 막을 증착 가능.L36
장비 구성 및 성능
| 기본 사양 | |
|---|---|
| 모델명 | DaON1000E (VTS) |
| 제작국가 | 대한민국 |
| 이용 정보 | |
| 취득일 | 2013-02-01 |
예약 정보
설치위치
약학실험동
이용료
시간별 50,000 원
기관 규칙에 따른 할인이 적용될 수 있습니다.
설치기관
세종 지역 - 고려대학교 세종캠퍼스
담당자 정보
장비 관리자 1
본 장비의 예약은 전화 문의
주요 특징
- 자체 자산관리번호 2120130001200000
- 설치형태: 고정형
- 시간별 50,000 원 이용료