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연구장비
세종 지역
사용가능
전자빔증착기
‧ 필라멘트에서 방출되는 전자로 시료를 녹여 반도체 기판위에 물질을 증착하는 장비로서 고 진공상에서 작동함. 따라서 보통 로타리 펌프와 터보펌프도 동반시켜 작동시킴.
‧ 실리콘 등의 기판에 박막을 코팅하는 장치로 전극 증착공정에서 powder grain wire 등 여러 형태의 비금속 및 금속 sourc를 이용, 사용하여 막을 증착 가능.L36
DaON1000E (VTS)
장비 설명
‧ 필라멘트에서 방출되는 전자로 시료를 녹여 반도체 기판위에 물질을 증착하는 장비로서 고 진공상에서 작동함. 따라서 보통 로타리 펌프와 터보펌프도 동반시켜 작동시킴.
‧ 실리콘 등의 기판에 박막을 코팅하는 장치로 전극 증착공정에서 powder grain wire 등 여러 형태의 비금속 및 금속 sourc를 이용, 사용하여 막을 증착 가능.L36
주요 특징
- 자체 자산관리번호 2120130001200000
- 설치형태: 고정형
- 시간당 50,000원 이용료
장비 구성 및 성능
등록된 장비 구성 및 성능 상세 문구가 없습니다.
기본 사양
모델명
DaON1000E (VTS)
장비 구분(코드)
주장비
설치지역(관리)
세종 지역
제작국가
C65033
이용 정보
설치형태
고정형
취득(예정)일
2013-02-01
취득금액
99,000,000원
표준분류체계
C C5 C504
장비활용 예시
등록된 장비활용 예시가 없습니다.
예약 정보
설치위치
약학실험동
이용료
50,000원/시간
설치기관
세종 지역 - 고려대학교 세종캠퍼스
담당자
박정혜
연락처
044-860-1460
본 장비의 예약은 전화 문의
담당자 정보
보유기관 장비 관리자
설치기관 장비 관리자