‧ 마이크로패턴의 모양 및 두께 측정, 박막 코팅 후 단차 측정을 위해 필요한 연구 장비
‧ 각종 박막의 단차 높이(두께)/ 깊이 등을 0.1 Angstrom의 분해능을 가지고 측정하며 Camera Lens 의 배율이 조절가능( 70 x 210배)하여 마이크로 패턴의 측정 위치를 찾는데 매우 용이함
‧ AS IQ 제품의 6”용의 넓은 sample stage 그리고 이동거리가 150 x 80mm로 상대적으로 넓어서 다양한 Size 의 sample 측정이 쉽고 빠르고 정확하게 가능
‧ Alpha Step IQ 제품은 양방향의 측정이 가능하여 Pattern 의 형체에 따른 Scanning을 방향 구별 없이 측정을 가능하게 해 줍니다. 또한 Stylus Force의 조정이 0.5mg~100mg로 넓게 조정 가능하여 강한 Force 도 가능합니다.

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