ABOUT SEMS
연구장비
세종 지역
사용가능
전계방사전자주사현미경
JSM-IT500HR
장비 설명
다양한 시편의 미세구조에 대한 고분해능 관찰(전기, 전자재료, 반도체 소자 etc.)이 가능하고 재료와 물질의 미세구조, 결함구조, 표면구조, 성분, 불순물 등에 분석함. 또한 Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS)를 활용한 미지원소에 대한 성분을 분석함.
장비 구성 및 성능
‧ FE-Source : In-lens schottky FEG
‧ mage resolution : 1.5nm@30kV , 4.0nm@1.0kV3.0nm@15kV, Probe current 1nA
‧ Observation mode : High Vacuum & Low Vacuum
‧ Image type
‧ HV mode : SE image & BSE image
‧ LV mode : BSE image
‧ Guide mode : OM image (Auto mode change between SEM image)
‧ Accelerating voltage : Max. 30kV
‧ Probe current : Max. 20nA
‧ LV pressure : 10 to 150pa
‧ OL Aperture : Multi hole exchange type
| 기본 사양 | |
|---|---|
| 모델명 | JSM-IT500HR |
| 내용연수 | 11년 |
| 이용 정보 | |
| 취득일 | 2021-02-01 |
예약 정보
설치위치
홍익대학교 세종캠퍼스 공동기기센터
이용료
시간별 50,000 원
기관 규칙에 따른 할인이 적용될 수 있습니다.
설치기관
세종 지역 - 홍익대학교 세종캠퍼스
담당자 정보
장비 관리자 1
성명 강지원
부서/직위 /
유선 044-860-2094
본 장비의 예약은 전화 문의
주요 특징
- 자체 자산관리번호 1200702
- 사용형태: 분석
- 설치형태: 고정형
- 시간별 50,000 원 이용료