ABOUT SEMS
연구장비
세종 지역
사용가능
전계방사전자주사현미경
다양한 시편의 미세구조에 대한 고분해능 관찰(전기, 전자재료, 반도체 소자 etc.)이 가능하고 재료와 물질의 미세구조, 결함구조, 표면구조, 성분, 불순물 등에 분석함. 또한 Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS)를 활용한 미지원소에 대한 성분을 분석함.
JSM-IT500HR
장비 설명
다양한 시편의 미세구조에 대한 고분해능 관찰(전기, 전자재료, 반도체 소자 etc.)이 가능하고 재료와 물질의 미세구조, 결함구조, 표면구조, 성분, 불순물 등에 분석함. 또한 Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS)를 활용한 미지원소에 대한 성분을 분석함.
주요 특징
- 자체 자산관리번호 1200702
- 사용형태: 분석
- 설치형태: 고정형
- 시간당 50,000원 이용료
장비 구성 및 성능
‧ FE-Source : In-lens schottky FEG
‧ mage resolution : 1.5nm@30kV , 4.0nm@1.0kV3.0nm@15kV, Probe current 1nA
‧ Observation mode : High Vacuum & Low Vacuum
‧ Image type
‧ HV mode : SE image & BSE image
‧ LV mode : BSE image
‧ Guide mode : OM image (Auto mode change between SEM image)
‧ Accelerating voltage : Max. 30kV
‧ Probe current : Max. 20nA
‧ LV pressure : 10 to 150pa
‧ OL Aperture : Multi hole exchange type
‧ mage resolution : 1.5nm@30kV , 4.0nm@1.0kV3.0nm@15kV, Probe current 1nA
‧ Observation mode : High Vacuum & Low Vacuum
‧ Image type
‧ HV mode : SE image & BSE image
‧ LV mode : BSE image
‧ Guide mode : OM image (Auto mode change between SEM image)
‧ Accelerating voltage : Max. 30kV
‧ Probe current : Max. 20nA
‧ LV pressure : 10 to 150pa
‧ OL Aperture : Multi hole exchange type
기본 사양
모델명
JSM-IT500HR
장비 구분(코드)
주장비
설치지역(관리)
세종 지역
내용연수
11년
장비 용도
분석
이용 정보
사용형태
분석
설치형태
고정형
취득(예정)일
2021-02-01
취득금액
273,501,800원
표준분류체계
A A2 A200
장비활용 예시
전계방사주사전자현미경(FE-SEM)은 나노 단위의 미세구조 분석과 성분분석이 가능한 FE-SEM과 EDS를 갖춘 장비로 미세구조 관련 기초과학부터 응용과학/공학까지 전 기술분야에 활용되는 필수적인 범용 분석장비임. 화학, 고분자, 금속, 무기물, 첨단전자재료, 생체재료 등 매우 넓은 연구영역에서 활용되고 있음.
예약 정보
설치위치
홍익대학교 세종캠퍼스 공동기기센터
이용료
50,000원/시간
설치기관
세종 지역 - 홍익대학교 세종캠퍼스
담당자
강지원
연락처
044-860-2094
본 장비의 예약은 전화 문의
담당자 정보
보유기관 장비 관리자
성명 강지원
부서/직위 /
유선 044-860-2094
설치기관 장비 관리자
성명 강지원
부서/직위 /
유선 044-860-2094