샘즈

장비 설명

반도체 박막 및 반도체 소자 등의 전기적 특성을 분석하는 장비로써 기본적으로 반도체 Device에 들어가는 반도체층, 절연막층, 도핑층들의 전기적 특성을 각각 확인하고 Device의 전체적인 전기적 특성까지 확인할 수 있는 측정 장치임.

주요 특징

ZEUS 관리번호 NFEC-2015-01-195822
사용형태: 연구
설치형태: 고정형

장비 구성 및 성능

본체 하나로 일체형으로 구성되어 있으며 내부에 4개의 신호를 동시에 분석할 수 있는 SMU 모듈이 4개 설치되어 있으며, 매우 낮은 레벨의 전류와 Capacitance-Voltage, Capacitance-Frequency, Pulse 신호를 분석할 수 있는 부속이 설치되어 있어 추가 모듈 설치시 사용이 가능하다.

기본 사양

모델명 B1500A

장비 구분(코드) 주장비

설치지역(관리) 기타 지역

제작국가 C65073

내용연수 0년

장비 용도 연구

이용 정보

사용형태 연구

설치형태 고정형

취득(예정)일 2009-12-03

취득금액 35,325,111원

표준분류체계 C C5 C514

장비활용 예시

MOSFET, TFT, Solar Cell 등 전기적 Device의 특성을 확인할 때 사용이 가능하며, 기본적으로 반도체, 절연막등의 단일막 전기적특성(I-V)을 확인할 때 사용하고 있음.

SEMS

연구장비

주요 특징

기본 사양

이용 정보