1.본 장비는 비파괴 2D/3D 단층촬영 장비로, X선의 기본 분해능은 0.5μm이상의 성능을 가져야 하고 관심부위의 구조 및 결함을 광학을 활용하거나 및 구조적으로 분석할 수 있는 설비여야 함
2. 본 장비는 In-Situ 기능(인장, 압축, 가열, 냉각)을 통해 외부 요인에 의한 변화 관찰이 가능해야 함
nanoVolex-3000
장비 설명
1.본 장비는 비파괴 2D/3D 단층촬영 장비로, X선의 기본 분해능은 0.5μm이상의 성능을 가져야 하고 관심부위의 구조 및 결함을 광학을 활용하거나 및 구조적으로 분석할 수 있는 설비여야 함
2. 본 장비는 In-Situ 기능(인장, 압축, 가열, 냉각)을 통해 외부 요인에 의한 변화 관찰이 가능해야 함
주요 특징
자체 자산관리번호 45-21-C006
ZEUS 관리번호 NFEC-2021-08-272171
e-Tube 관리번호 2108-A-0021
사용형태: 분석
설치형태: 고정형
시간당 159,000원 이용료
장비 구성 및 성능
○ X-ray Generator : 30~160kV 이상
○ 분해능 : 500 nm 이하
○ 샘플 사이즈 : 직경 300mm 이상
○ 샘플 하중 : 최대 25kg 이상
기본 사양
모델명nanoVolex-3000
장비 구분(코드)주장비
설치지역(관리)(재)세종테크노파크
제작국가C65188
내용연수9년
장비 용도분석
이용 정보
사용형태분석
설치형태고정형
취득(예정)일2021-08-09
취득금액1,339,494,000원
표준분류체계A A5 A500
장비활용 예시
3D-XRM은 자동차 전장부품 및 소재, 반도체 분야에서 불특정 다수 샘플에 X선을 투과하여 단층촬영을 수행하며, 구체적인 관심장소를 파악한 후SEM/TEM에 정확한 위치정보를 제공하여 기존 장비를 보완하고 분석지원의 효율성과 활용도를 극대화할 수 있어야 함