세종기업지원 통합관리시스템
Sejong Enterprise Support Management System
ABOUT SEMS
특징 : 텅스텐 필라멘트에서 방출된 전자빔을 관찰하려는 시료의 표면에 주사시켜서 고배율에서 um~nm 단위의 고해상도의 영상 관찰이 가능한 측정장비이며 동시에 SEM 본체에 EDS를 장착하여 성분 분석도 가능함 분해능 3.5nm 배율 10~300,000
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장비 관리자 1