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연구장비
(재)세종테크노파크
사용가능
3차원 표면형상계측기
비접촉식 측정 방법을 사용. 정밀 측정 및 3차원 형상 측정이 가능한 장비임. 이를 통해 제작 및 가공 시 발생 가능한 형상오차에 대한 피드백을 제공할 수 있으며, 제작이 완료된 제품에 대한 불량 검사 등을 수행
ContourX-200
장비 설명
비접촉식 측정 방법을 사용. 정밀 측정 및 3차원 형상 측정이 가능한 장비임. 이를 통해 제작 및 가공 시 발생 가능한 형상오차에 대한 피드백을 제공할 수 있으며, 제작이 완료된 제품에 대한 불량 검사 등을 수행
주요 특징
- 자체 자산관리번호 45-21-C015
- ZEUS 관리번호 NFEC-2021-12-275298
- e-Tube 관리번호 2112-A-0330
- 사용형태: 분석
- 설치형태: 고정형
- 시간당 28,000원 이용료
장비 구성 및 성능
3D 비접촉 측정 방식
- 광학 간섭계 방식
- 듀얼 광원 방식
- 측정 시료 높이 100mm
- 오토 스테이지 이동 범위 150mm x 150mm
- 대물 렌즈 3D 측정용 : 2.5x, 10x, 50x, 2D 측정용 : 10x
- 0.55x, 1.0x, 2.0x 자동 줌렌즈
- 최대 측정 가능 경사 85°이상
- 광학 간섭계 방식
- 듀얼 광원 방식
- 측정 시료 높이 100mm
- 오토 스테이지 이동 범위 150mm x 150mm
- 대물 렌즈 3D 측정용 : 2.5x, 10x, 50x, 2D 측정용 : 10x
- 0.55x, 1.0x, 2.0x 자동 줌렌즈
- 최대 측정 가능 경사 85°이상
기본 사양
모델명
ContourX-200
장비 구분(코드)
주장비
설치지역(관리)
(재)세종테크노파크
제작국가
C65037
내용연수
10년
장비 용도
분석
이용 정보
사용형태
분석
설치형태
고정형
취득(예정)일
2021-12-23
취득금액
182,685,600원
표준분류체계
A A2 A200
장비활용 예시
도체/반도체/유전체 박막, LED·OLED, 태양전지, MEMS 구조물의 단차 측정에 활용 되며 관련 분야의 연구자와 공동활용이 가능하여 기업의 신제품 개발 및 시제품 제작을 지원하기 위해 구축되며, 주로 반도체, 태양전지 등에서 사용되는 부품은 초정밀 가공으로 제작하므로 ㎛에서부터 나노미터 미만 수준의 표면거칠기를 요구하는 제품에 대한 외형검사 및 표면 불량, 형상측정 등에 활용
예약 정보
설치위치
세종테크노파크
이용료
28,000원/시간
주소
30033 세종특별자치시 조치원읍 군청로 95
설치기관
(재)세종테크노파크
담당자
한형석
연락처
044-850-2162
담당자 정보
보유기관 장비 관리자
설치기관 장비 관리자